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來源資料
電子月刊
10:9=110 2004.09[民93.09]
頁128-133
電機工程
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電燈廠
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題 名
奈米時代晶圓代工技術之挑戰
作 者
吳顯揚
;
書刊名
電子月刊
卷 期
10:9=110 2004.09[民93.09]
頁 次
頁128-133
專 輯
積體電路技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
晶圓代工
;
晶片設計
;
微影技術
;
語 文
中文(Chinese)
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