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來源資料
光訊
80 1999.10[民88.10]
頁23-27
電機工程
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電燈之特殊應用
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題 名
灰階光罩微影技術製作繞射光學元件
作 者
曲昌盛
;
書刊名
光訊
卷 期
80 1999.10[民88.10]
頁 次
頁23-27
分類號
448.59
關鍵詞
灰階光罩微影技術
;
繞射光學
;
元件
;
語 文
中文(Chinese)
中文摘要
灰階光罩微影技術的出現,不僅解決製作多階繞射元件所需多道光罩對準的問題 灰階光罩微影技術析度高。故設計繞射光學元件時,相位階數增加,量化結果使得元件表面 更趨近連續相位曲線,且一次製程對於元件製作過程中產生的誤差能控制到最低,因此可大 幅提升繞射光學元件的效率。本文乃針對灰階光罩微影技術製作繞射光學元件的各步驟,作 詳細的描述。
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