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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
11 2004.06[民93.06]
頁26-42
電機工程
>
電燈廠
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題名
聚對二甲苯(parylene)微機電製程簡介
作者
楊龍杰
;
林韋至
;
戴霆樘
;
林宏樺
;
黃恆凇
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷期
11 2004.06[民93.06]
頁次
頁26-42
分類號
448.57
關鍵詞
聚對二甲苯
;
微機電製程
;
Parylene
;
語文
中文(Chinese)
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