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來源資料
奈米通訊
11:2 2004.05[民93.05]
頁1-5
電機工程
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電燈廠
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題 名
感應耦合式電漿蝕刻非晶相氫化碳氧化矽薄膜之研究
作 者
管正平
;
蔡國強
;
吳文發
;
黃穩駿
;
書刊名
奈米通訊
卷 期
11:2 2004.05[民93.05]
頁 次
頁1-5
分類號
448.57
關鍵詞
感應耦合式電漿
;
蝕刻
;
非晶相氫化碳氧化矽薄膜
;
極大型積體電路
;
ULSI
;
語 文
中文(Chinese)
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推文
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