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來源資料
電子月刊
10:3=104 2004.03[民93.03]
頁122-125
電機工程
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電燈廠
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題名
利用感應耦合電漿(ICP)蝕刻矽與氧化矽材料作為微機電用途之新發展=
作者
Puech,Michel
;
期刊
電子月刊
出版日期
20040300
卷期
10:3=104 2004.03[民93.03]
頁次
頁122-125
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
感應耦合電漿
;
微機電系統
;
ICP
;
MEMS
;
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推文
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