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題名 | A Web-based Educational Tool for the Lithographic Optics Utilized in Semiconductor Processing Technology=用於半導體製程技術的微影光學之網路教育訓練工具 |
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作者 | 李宗隆; Li, Tsung-lung; |
期刊 | 嘉義大學學報 |
出版日期 | 200312 |
卷期 | 75 2003.12[民92.12] |
頁次 | 頁255-261 |
分類號 | 448.552 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 微影光學; 半導體製程技術; 微影技術; 相差光澤; 孔洞技術; 網路教育訓練工具; Lithographic optics; Semiconductor processing technology; Partially coherent imagery; Photolithography; Aerial image; Phase shift masks; Contact holes; Web-based educational tool; SAMPLE-3D; SPLAT; |