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題 名 | 建構半導體製程改善之失效模式與效應分析架構及其應用研究=Constructing a Fmea Framework for Improving the Manufacturing Processes in Semiconductor Industry and Its Illustrations |
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作 者 | 方鈞; 簡禎富; 王鴻儒; 徐紹鐘; 黃啟東; 陳志萍; | 書刊名 | 工業工程學刊 |
卷 期 | 17:2 2000.03[民89.03] |
頁 次 | 頁133-146 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 半導體製程技術; 失效模式與效應分析; 失效模式效應與關鍵性分析; 故障樹; 事件樹; 決策分析; 知識管理; Semiconductor process technology; Failure mode; Effect and criticality analysis; Failure model effect analysis; Fault tree; Event tree; Decision analysis; Knowledge management; |
語 文 | 中文(Chinese) |