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題 名 | 低溫複晶矽薄膜電晶體之可靠度探討 |
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作 者 | 陳志強; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷 期 | 10:4 2003.11[民92.11] |
頁 次 | 頁5-9 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 低溫複晶矽; 薄膜電晶體; 可靠度; 潛藏性損傷; Low temperature polysilicon; Thin-film transistor; Reliability; Latent damage; |
語 文 | 中文(Chinese) |