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| 題 名 | 應用基因演算法於半導體製程控制之研究--以化學機械研磨為例=Genetic Algorithm Based Semiconductor Manufacturing Process Controller for Chemical Mechanical Planarization |
|---|---|
| 作 者 | 葉進儀; 黃寶賢; | 書刊名 | 工業工程學刊 |
| 卷 期 | 20:6 2003.11[民92.11] |
| 頁 次 | 頁625-635 |
| 分類號 | 494.54 |
| 關鍵詞 | R2R控制器; 實數型基因演算法; 化學機械研磨; Run-to-run controller; Real-valued genetic algorithm; Chemical mechanical planarization; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |