您的瀏覽器不支援或未開啟JavaScript功能,將無法正常使用本系統,請開啟瀏覽器JavaScript功能,以利系統順利執行。
返回
/NclService/
快速連結
跳到主要內容
:::
首頁
關於本站
網站導覽
聯絡我們
國家圖書館
English
開啟查詢結果分析
查詢資訊
期刊論文索引(找篇目)
指令檢索
期刊指南(找期刊)
近代 (1853-1979年) 港澳華文期刊索引
漢學中心典藏大陸期刊論文索引
中國文化研究論文目錄
期刊瀏覽
檢索歷程
期刊授權
出版機構
公佈欄
常見問題
軟體工具下載
:::
首頁
>
查詢資訊
>
期刊論文索引查詢
>
詳目列表
查詢結果分析
來源資料
機械工業
245 2003.08[民92.08]
頁97-105
電機工程
>
電燈廠
相關文獻
電子束微影技術簡介
以二氧化矽薄膜降低電子束近接效應
採用電子束微影的近接效應來製作矽的奈米線結構
簡介下世代微影技術與奈米轉印微影技術
相差都卜勒粒子動力分析儀中光學因子對液滴量測影響的理論研究
高能量束銲接在鋁合金應用之研究
顯微織構理論與背向散射電子繞射法在銲接冶金研究上的應用
高速無線區域網路系統通道特性與RAKE接收機設計考量
淺談電子束銲接
Growth and characterization of Zn[feb5][febe]戓Mn戓 Se Epilayers and ZnSe/Zn[feb5][febe]戓Mn戓Se Quantum Wells
頁籤選單縮合
基本資料
引用格式
國圖館藏目錄
全國期刊聯合目錄
勘誤回報
我要授權
匯出書目
題 名
電子束微影技術簡介
作 者
林熙翔
;
書刊名
機械工業
卷 期
245 2003.08[民92.08]
頁 次
頁97-105
專 輯
微機電技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
電子束
;
散射
;
近接效應
;
Electron beam
;
Scattering
;
Proximity effect
;
語 文
中文(Chinese)
頁籤選單縮合
推文
引用網址
引用嵌入語法
Line
FB
Google bookmarks
本文的引用網址:
複製引用網址
本文的引用網址:
複製引用網址