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來源資料
陶業
22:2 2003.04[民92.04]
頁25-31
工程學總論
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其他非金屬材料
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題 名
碳化矽材料之開發及應用
作 者
林博文
;
書刊名
陶業
卷 期
22:2 2003.04[民92.04]
頁 次
頁25-31
專 輯
積層陶瓷材料及元件專題
分類號
440.34
關鍵詞
碳化矽
;
燒結
;
機械軸封
;
半導體製程
;
語 文
中文(Chinese)
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