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來源資料
機械工程
246 2003.06[民92.06]
頁23-28
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題 名
電漿技術於III-V製程設備的應用--蝕刻技術篇
作 者
劉品均
;
書刊名
機械工程
卷 期
246 2003.06[民92.06]
頁 次
頁23-28
專 輯
半導體設備技術
分類號
448.552
關鍵詞
電漿
;
電漿蝕刻
;
三-五族
;
蝕刻
;
Plasma
;
Plasma etching
;
III-V
;
Etch
;
語 文
中文(Chinese)
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