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來源資料
奈米通訊
9:3 2002.08[民91.08]
頁38-44
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題 名
規則性奈米孔洞超低介電常數二氧化矽薄膜之製備
作 者
卓恩宗
;
蔡增光
;
吳柏偉
;
潘扶民
;
楊家銘
;
趙桂蓉
;
書刊名
奈米通訊
卷 期
9:3 2002.08[民91.08]
頁 次
頁38-44
分類號
448.552
關鍵詞
低介電
;
奈米孔洞
;
二氧化矽薄膜
;
語 文
中文(Chinese)
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