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題名 | 由酸式及模板法製中孔洞型二氧化矽低介電薄膜材料=Preparation of Mesoporous Silica Low-K Films from Acid Solution by Templated Method |
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作者姓名(中文) | 呂信諺; 萬本儒; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷期 | 16:1 2009.03[民98.03] |
頁次 | 頁39-45 |
專輯 | 奈米電子 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 中孔洞型二氧化矽薄膜; 低介電常數; 孔隙度; 界面活性劑; 機械強度; Mesoporous silica films; Low-K value; Dielectric constant; Porosity surfactant; Mechanical strength; |
語文 | 中文(Chinese) |