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題名 | 以快速凝固噴覆成型製程進行鋁-鈦濺鍍靶材之製作的研發=Al-Ti Sputtering Target Material Produced by Rapid Solidification of Spray-Formed Process |
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作者姓名(中文) | 陳皓隆; 王正裕; 林謙田; 曹紀元; | 書刊名 | 鑄工 |
卷期 | 28:4=115 2002.12[民91.12] |
頁次 | 頁43-48 |
分類號 | 472.16 |
關鍵詞 | 噴覆成型; 濺鍍靶材; 快速凝固; Spray forming; Sputtering target materials; Rapid solidification; |
語文 | 中文(Chinese) |