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題名 | 表面聲波濾波器發展現況及未來機會 |
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作者姓名(中文) | 吳志宏; 程智勇; 蔡宏營; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 233 2002.08[民91.08] |
頁次 | 頁82-87 |
專輯 | 微機電技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 表面聲波濾波器; 交叉指狀電極; 鑽石膜; 拋光; Surface acoustic wave filter; Interdigital transducer; IDT; Diamond film; Polishing; |
語文 | 中文(Chinese) |