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題名 | 無基材超平坦鑽石膜製程技術與發展應用=Low Roughness Free Standing Diamond Film Fabrication Process and Application |
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作者姓名(中文) | 劉丙寅; 謝丞聿; 張延瑜; 吳志宏; 程智勇; 丁嘉仁; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 257 2004.08[民93.08] |
頁次 | 頁111-120 |
專輯 | 微機電技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 無基材鑽石膜; 化學氣沈積; 接合; 鑽石表面聲波濾波器; 接合工具; Free standing diamond film; CVD; Chemical vapor deposition; Bonding; Diamond SAW; Bonding tool; |
語文 | 中文(Chinese) |