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題 名 | 抗反射有機塗佈層應用至雙鑲嵌製程的挑戰 |
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作 者 | 萬一元; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 184 2002.04[民91.04] |
頁 次 | 頁175-178 |
分類號 | 472.18 |
關鍵詞 | 雙鑲嵌; 先通孔蝕刻; 抗反射層; 高溫型光阻; 低溫型光阻; Dual damascene; Via-first; Antireflective coating; ARC; Annealing; ESCAP type; Acetal or hybrid acetal; |
語 文 | 中文(Chinese) |