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來源資料
科儀新知
23:2=124 2001.10[民90.10]
頁67-77
電機工程
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電燈廠
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題 名
以低介電常數材料作為深紫外光微影之抗反射層研究
作 者
陳學禮
;
朱鐵吉
;
鄭旭君
;
柯富祥
;
書刊名
科儀新知
卷 期
23:2=124 2001.10[民90.10]
頁 次
頁67-77
分類號
448.57
關鍵詞
低介電常數材料
;
深紫外光微影
;
抗反射層
;
語 文
中文(Chinese)
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