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題名 | Fabry-Perot型式抗反射層鍍膜在深紫外光微影二元式光罩上之應用= |
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作者 | 陳學禮; 鄭旭君; Chen, Hsuen-li; Cheng, Hsu-chun; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 200304 |
卷期 | 24:5=133 2003.04[民92.04] |
頁次 | 頁61-66 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 抗反射層鍍膜; 深紫外光微影二元式光罩; 半導體工業; Fabry-Perot; |