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題名 | 過濾技術在半導體工業之應用= |
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作者 | 許如助; 王冬信; |
期刊 | 化工技術 |
出版日期 | 19980800 |
卷期 | 6:8=65 1998.08[民87.08] |
頁次 | 頁186-195 |
分類號 | 460.024 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 過濾技術; 半導體工業; |
中文摘要 | 本文旨在介紹半導體製造業製程中各類流體,包括:純水、液態化學品(清洗用及 光阻用)、氣體之過濾純化技術。由於超大型積體電路(Ultra Large Scale Integrated Circuit, ULSI) 之發展,線距(line width)日益縮小,其密集度對應品質之要求亦日益嚴荷。針對此項之要求, 介紹業界過濾純化之應用現況。 |
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