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來源資料
工業材料
184 2002.04[民91.04]
頁93-100
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題 名
應用於電路系統之機械共振子之發展
作 者
李志成
;
書刊名
工業材料
卷 期
184 2002.04[民91.04]
頁 次
頁93-100
專 輯
MEMS在無線通信應用發展趨勢專題
分類號
448.532
關鍵詞
微細加工
;
晶體共振子
;
薄膜體聲波共振子
;
語 文
中文(Chinese)
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