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來源資料
機械技術雜誌
219 2003.05[民92.05]
頁126+128-133
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題 名
矽基微細加工中虹吸現象之成因與解決方式
作 者
鄭兆珉
;
葉翳民
;
書刊名
機械技術雜誌
卷 期
219 2003.05[民92.05]
頁 次
頁126+128-133
分類號
448.552
關鍵詞
矽基微細加工
;
虹吸現象
;
積體電路
;
晶片
;
語 文
中文(Chinese)
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