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題 名 | 半導體設備管理指標模型 |
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作 者 | 許棟樑; 吳振寧; 孫銘新; | 書刊名 | 工業安全科技 |
卷 期 | 42 2002.03[民91.03] |
頁 次 | 頁35-43 |
專 輯 | 技術專輯 |
分類號 | 555.6 |
關鍵詞 | 半導體設備; 設備管理; 設備管理模型; 標竿比較; Semiconductor equipment; Equipment management; Equipment management model; Benchmarking; |
語 文 | 中文(Chinese) |