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題名 | 臺灣半導體廠設備管理指標模型建立與評比--1998∼99年成果 |
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作 者 | 許棟樑; 吳振寧; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 202 2000.01[民89.01] |
頁次 | 頁94-104 |
專輯 | 品質與維護工程技術應用專輯 |
分類號 | 494.58 |
關鍵詞 | 設備管理; 設備管理模型; 半導體設備; 標竿比較; 資料包絡分析法; Equipment management; Equipment management model; Semiconductor equipment; Benchmarking; Data envelopment analysis; |
語文 | 中文(Chinese) |