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題名 | 微光柵製程及系統應用技術簡述 |
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作者姓名(中文) | 陳奇夆; 姚柏宏; 鄭瑞庭; 廖英彥; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 221 2001.08[民90.08] |
頁次 | 頁118-127 |
專輯 | 奈米工程及微機電系統技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微光學; 微光柵; 準分子雷射加工; 超精密機械加工; Micro-optics; Micro-grating; Excimer laser machining; Ultra-precision machining; |
語文 | 中文(Chinese) |