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題名 | 矽器時代的來臨:淺談四十年來微電子科技之成就與挑戰 |
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作者 | 施敏; | 書刊名 | 國科會國家毫微米元件實驗室通訊 |
卷期 | 8:2 2001.05[民90.05] |
頁次 | 頁1-8 |
分類號 | 484.51 |
關鍵詞 | 矽; 微電子; 動態隨機存取記憶體; 非揮發性記憶體; 微處理機; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 電子工業已成全球最大工業,其年筲售額已超過1兆美元。而此工業之基礎是以矽元素為基本原料之微電子科技。 微電子科技肇始於R. Noyce在1959年發套之單晶積體電路。在過去40年來微電子科技有驚人之成就包括(1)發明了動態隨機存取記憶體育(DRAM),非揮發性記憶體,及微處理機,(2)大幅提升設計及製造技術,使最小線寬減少了100倍,更使DRAM密度增加一百萬倍,(3)全球市場之擴張,比如銷售額增加400倍,而電晶體出廠數增加100億倍。 當我們繼續縮小元件尺寸,我們面臨許多基本面,實際面和經濟面之挑戰,包括微影之波長限制,連線之生電阻電容,設計之複雜性,及鉅額之設備投資。我們必須發展創新的技術與產品來克服這些挑戰,以期很順利的從「微電子科技時代」進步到「毫微米電子科技時代」。 |
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