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來源資料
科儀新知
24:4=132 2003.02[民92.02]
頁4-14
電機工程
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電燈;照明電器
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題名
單晶碳化矽在微電子及微感測元件之應用=Applications of Single Crystal SiC in Microelectronic Devices and Microsensors
作者
張煒旭
;
黃宇中
;
林稔杰
;
書刊名
科儀新知
卷期
24:4=132 2003.02[民92.02]
頁次
頁4-14
專輯
微致動器與微感測器專題
分類號
448.5
關鍵詞
單晶碳化矽
;
微電子
;
微感測元件
;
語文
中文(Chinese)
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