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題名 | 微電子材料表面分析技術= |
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作者 | 潘扶民; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 19971000 |
卷期 | 19:2=100 1997.10[民86.10] |
頁次 | 頁118-127 |
分類號 | 343.3 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微電子材料; 表面分析; |
中文摘要 | 當微電子元件尺寸快速地縮減,積體電路內繁複的疊層結構使得各薄膜表面與界 面特性影響微電子元件整體特性的比重相對地的升高,為了精確分析量測微電子材料表面與 界面特性,表面分析工具應具備微區分析、形態結構觀察、化學組成分析或低檢測極限等部 份或全部的功能。本文簡述以下四種普遍應用在微電子工業之表面分析技術:歐傑電子顯微 鏡、化學分析電子儀、二次離子質譜儀及原子力顯微鏡的原理與微電子技術之應用,以供參 考。 |
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