查詢結果分析
來源資料
相關文獻
- 極大型積體電路之低介電常數材料應用及技術
- 國家毫微米元件實驗室於低介電常數材料之研發
- 銅金屬與低介電常數材料與製程
- 低介電常數材料機械性質之研究
- 低介電常數材料FLARE冄 2.0熱穩定性及基本特性之研究
- IC製程之低介電常數高分子材料
- FLARE聚芳香烴醚膜之化學機械研磨特性評估
- 以低介電常數材料作為深紫外光微影之抗反射層研究
- The Effect of Ammonia Plasma Treatment on Low-k Methyl-Hybrido-Silsesquioxane (MHSQ) Against Photoresist Stripping Damage
- 應用於先進積體電路之低介電常數材料