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題名 | 低介電常數材料機械性質之研究 |
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作者 | 劉繼文; 賴明志; 戴寶通; | 書刊名 | 國科會國家毫微米元件實驗室通訊 |
卷期 | 7:2 2000.05[民89.05] |
頁次 | 頁16-21 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 低介電常數材料; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 目前最新的元件結構均採用低介電常數材料(低電容)及銅導線技術(低阻值)來降低多層金屬連線中時間延遲之效應。為了達到低介電性質,低介電常數材料多為組織鬆散,機械強?不理想之結構,故低介電常數材料組成今日多層金屬導線之架構,外力將易於跨越材料之降伏強度,勢必導致斷線之危機,進而破壞元件之運作。本文係針對低介電常數材料本身的機械性質;其次探討低介電常數材料和相鄰材料的附著性質。不僅介紹低介電常數材料薄膜的機械性質量測質本原理與方法,並就一些現有量測結果提出討論。 |
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