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來源資料
品質月刊
49:12 2013.12[民102.12]
頁26-30
企業管理
>
設備管理
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題 名
半導體製造設備MTBF量測的不確定性與應用=The Application and Uncertainty Measurement of MTBF on Semiconductor Manufacturing Equipment
作 者
許進發
;
書刊名
品質月刊
卷 期
49:12 2013.12[民102.12]
頁 次
頁26-30
分類號
494.58
關鍵詞
半導體製造設備
;
設備管理
;
平均故障間隔時間
;
MTBF量測
;
語 文
中文(Chinese)
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