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來源資料
機械工程
228 1999.10[民88.10]
頁23-29
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題名
微型機電系統技術
作者
周兆英
;
書刊名
機械工程
卷期
228 1999.10[民88.10]
頁次
頁23-29
分類號
448.57
關鍵詞
微型機電系統
;
微米納米技術
;
傳感器
;
執行器
;
語文
中文(Chinese)
中文摘要
微型機電系統是一個新興的高科技領域。 本文分析了當前微型機電系統發展的幾 個特點,特別強調它是多學科的和多學科交叉的廣闊領域。在介紹了其基礎性研究、應用和 主要市場之後,還以清華大學的微流量系統研究為例,說明微型機電系統的既有重要的基礎 研究課題,又有廣泛的應用。國際上微型光機電系統技術剛走向全面發展,正是我國發展該 領域的好時機。
本系統之摘要資訊系依該期刊論文摘要之資訊為主。
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