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來源資料
機械工業
203 2000.02[民89.02]
頁157-163
電機工程
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題名
微型機電系統技術
作 者
周兆英
;
書刊名
機械工業
卷期
203 2000.02[民89.02]
頁次
頁157-163
分類號
448.57
關鍵詞
微型機電系統
;
徵米納米技術
;
傳感器
;
執行器
;
語文
中文(Chinese)
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