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題 名 | 模組化潔淨生產環境物料傳輸系統設計分析及模擬 |
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作 者 | 鍾淑馨; 林靖智; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 198 1999.09[民88.09] |
頁 次 | 頁220-229 |
專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 半導體工廠; 廠區佈置; 物料搬運系統; 模擬; Semiconductor factory; Facility layout; Material handling system; Simulation; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 近年來,我國半導體產業所創下的耀限成績,使得半導體產業儼然成 為我國的經濟命脈。然而在各國皆致力於研發新製程下,製程能力間的差距相 對縮短,即使擁有優良的製程能力也無法保證能有競爭優勢。在這種環境下, 唯有擴充本身的產出以及提高達交能力,才可在競爭激烈的半導體領域內佔有 一席之地,而這正是現階段全球半導體業者極力求的目標。 在月產量的擴充方面,由於12吋晶片的產出可達8吋晶圓廠的二倍有餘, 再加上晶粒面積的縮小,對於月產量的擴充有莫大的助益,所以12吋晶圓廠的 研發確實有其時代的使命。在達交能力方面,吳伯奮等學者提出一套模組化晶 圓廠的模型,在此模型中,摒棄現今通用的功能式的廠區佈置(functional layout) 方式,改採最具效率的流線型(flow line)廠區佈置,如此一來可以有效縮短生產 週期時間,降低生產管理的複雜程度,進而提升晶圓廠的達交能力。 本計劃即是構建在此模組化晶圓廠的架構上,針對其廠區佈置及物料傳輸 系統進行設計,並對所設計之方案開發其模擬模式,模擬各種物料傳輸系統的 設計變數對整廠績效的影響,以提供決策者於設廠時期的參考依據。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。