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題 名 | 使用模型參數及模糊邏輯之故障檢測 |
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作 者 | 張清陽; 張少貢; 鄭木火; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 198 1999.09[民88.09] |
頁 次 | 頁199-206 |
專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 模糊推論; 特徵萃取; LPCVD; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文內容是提出一故障檢測專家系統,其可以由半導體製程設備運轉 中所獲得的資料以判斷該製程設備是否故障。由於半導體生產技術製程複雜且 昂貴,製造的良率對半導體製造業的影響很大,因此建立一製程的專家故障檢 測系統也就有其必要性。在本文我們建立一故障檢測系統,此系統主要是由建 立製程設備模型參數及模糊邏輯推論兩部分所組成。我們首先介紹如何建立一 製程系統之模型,然後再使用模型參數以萃取出特徵,接著利用此特徵為證據, 透過模糊邏輯推論檢測出故障。最後我們將此檢測系統應用於半導體製程中 LPCVD爐管的故障檢測,並實際應用以在LPCVD爐管使用非晶系複晶矽的沈 積時之測量資料做故障檢測並得到良好的結果。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。