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來源資料
消防科技資訊
27 1999.01[民88.01]
頁58-61
化學藥品;化學工業
>
有機化學工業
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題 名
半導體工業用矽化氫(Silane)之物性及事故案例
編 次
下
作 者
李肇祁
;
書刊名
消防科技資訊
卷 期
27 1999.01[民88.01]
頁 次
頁58-61
分類號
461.6
關鍵詞
半導體工業
;
矽化氫
;
物性
;
Silane
;
語 文
中文(Chinese)
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