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題 名 | 以製程層為基礎的半導體工廠佈置 |
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作 者 | 張詔帆; 解謀東; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 187 1998.10[民87.10] |
頁 次 | 頁210-219 |
專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 555.62、555.62 |
關鍵詞 | 製程層為基礎之工廠佈置; 跨區間搬運; 週期時間; Layer-based layout; Interbay movement; Cycle time; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 為改善現有功能別佈置所造成跨區間搬運力時間過長的缺失,本文提出一以製程層 為基礎的半導體工廠佈置方法,該佈置方法之主要精神在於:將加工連續製程層所需之機臺 集中放置一區,以減少跨區間搬運的情形,其中工廠佈置的討論範疇則限定在機臺擺設部分 。同時,本方法結合生產排程模擬軟體,以週期時間為評估指標,來評估不同半導體晶圓工 廠佈置方案之優劣,而該評估方法主要在根據預定或現有之產品組合生產環境,利用生產排 程模擬軟體的功能,事先驗證不同工廠佈置方案在產品生產週期時間上的差異,以便找出最 佳的方案,再進行現場機臺實際的擺設工作。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。