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來源資料
機械工業
187 1998.10[民87.10]
頁170-182
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題 名
八吋晶圓標準機械介面(SMIF)內空氣流場之數值模擬
作 者
陳新全
;
陳希立
;
李志中
;
書刊名
機械工業
卷 期
187 1998.10[民87.10]
頁 次
頁170-182
專 輯
半導體設備技術專輯
分類號
555.62
關鍵詞
SMIF傅送臂
;
空氣流場
;
潔淨度
;
SMIF robot
;
Air flow field
;
Cleanliness
;
語 文
中文(Chinese)
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