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題名 | 模組化潔淨生產環境 |
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作者 | 李浩銓; 許俊宇; 陳建良; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 198 1999.09[民88.09] |
頁次 | 頁214-219 |
專輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 無塵室; 潔淨室; 模組化無塵室; 潔淨度測試驗證; Clean room; Modular clean room; Clean room verification; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 為因應半導體產業急遽發展及競爭,減低積體電路之製造成本,來開 發適合半導體產業需要潔淨生產環境之模組化潔淨室。設計的構想是將一個半 導體廠建立在幾個可搬運的模組內,每個模組的大小為貨櫃尺寸之整倍數,以 便於運輸與安裝,如此將可大幅縮短設廠時程,減低能源消耗。而模組化之設 計其應付新製程設備更換之彈性更是傳統工廠所不及。目前已開發MCR M1 (Class 1),MCR M3 (Class 1000)兩型,MCR M1在As-build狀態下按209-E規 範測試已通過,正進行蝕刻機動作運轉測試,MCR M3建構已完成,正進行 As-build 狀態下測試。 |
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