頁籤選單縮合
題名 | 有關0.1μmULSI製程環境之潔淨度管理= |
---|---|
作者 | 何斌明; |
期刊 | 電子月刊 |
出版日期 | 19950900 |
卷期 | 1:2=2 1995.09[民84.09] |
頁次 | 頁61-65 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 製程環境; 潔淨度; 管理; ULSI; |
中文摘要 | 本文係探討微粒子之尺守與密度的關係,它給LSI的製造良率達80。此 亦有助我們掌握未來ULSI製程(即次微米製程)環境中,須控制微粒子到多小的尺 寸、及多少的密度。 其中微粒子尺寸須控制到製行線寬的十分之一,至於微粒子密度則可由晶方尺守 (Chip size)製程的數目及其他參數推算。 至於未來微粒子計數器之所需規格,亦在討論內。 |
本系統之摘要資訊系依該期刊論文摘要之資訊為主。