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題名 | 半導體製造廠能源利用之查核與分析=Energy Survey for TSMC FAB3&4 |
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作者 | 王文伯; 傅定儀; 羅明廉; | 書刊名 | 中國冷凍空調雜誌 |
卷期 | 40 1998.10[民87.10] |
頁次 | 頁92-97 |
專輯 | 節約能源 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 半導體; 晶圓; 能源; 製程機臺; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 臺灣積體電路公司為瞭解半導體產業及工廠本身能源使用情形,進而比較同業之 差異、尋求改善空間,於是選擇生產八吋晶圓之晶圓三廠加入美國半導體共同研究開發機 構-SEMATECH之半導體能源查核計劃。本計劃委託中國技術服務社能源技術服務中心執行量 測及分析工作,能源查核的範圍包括全廠用電量、生產機臺之冷卻水量、純水量及排氣量 之量測;工廠供電系統主要切分成公用設施系統、製程機臺系統及辦公區等。 本計劃預期由實際量測得知全廠耗電之分佈情形及排氣、冷卻水與純水之單位耗電量 、生產每片晶圓之耗電量等,這些資訊可作為建立本廠耗能之基準及同業間之參考。另一 方面,量測結果顯示出,全廠用電除公用設施外,製程機臺亦佔大部份,分別為51%及43% ,兩者均可列為節能改善之重點。針對公用設施系統,中技社提出五項改善建議,預估可 達到的效益為:降低容量1,874.5KW、減少用電量6,934,730KWH/年及節省電費1,279萬元/ 年。而在製程機臺方面,選擇耗能、耗水量或排氣量較高之數種機臺進行代表性量測,初 步結果顯示機臺實際耗電、排氣量及用水量與廠商所提需求有相當大的差距,此結果除可 提供工廠評估調整目前操作狀況之依據外,並可提供予機臺廠商作為修正機臺規範之參考 ,促使廠商考量機臺節能之設計及節省工廠電力設施之初設成本。 |
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