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題 名 | 精密機械之振動環境研究 |
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作 者 | 周永樂; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 195 1999.06[民88.06] |
頁 次 | 頁163-170 |
專 輯 | 精密機械技術專輯 |
分類號 | 441.571 |
關鍵詞 | 樓板振動; 樓板剛性; 半導體設備; Floor vibration; Floor stiffness; Semiconductor equipment; |
語 文 | 中文(Chinese) |