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題名 | 具感測器與致動器的掃瞄探針之設計與製作 |
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作者姓名(中文) | 李政璋; 徐文祥; 林盈熙; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 185 1998.08[民87.08] |
頁次 | 頁110-117 |
專輯 | 奈米工程暨微機電系統技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 感測器; 致動器; 掃瞄探針; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文提出結合壓阻式感測器與提供一維方向位移的致動器之掃瞄探針結構,並且 分析設計其相關的製程參數,如解析度,量取範圍,結構尺寸的決定,溫度效應補償等。 感測部份由探針與懸臂樑所組成。探針長為6μm,尖端小於25nm;懸臂樑之長、寬、 及厚度分別為300μm、60μm、3μm。懸臂樑的變形量則由位於根部的壓阻感測之,選擇適 當的參雜濃度降低了溫度對感測器的影響;另外,使用N型參雜及半橋式電路亦提昇了整個 感測器的敏感度。 致動的部份則由8個微致動器組成陣列,用來提供探針作水平方向一維的移動;整個致 動陣列的尺寸大小約為600μmx900μm,厚度為9μm。由於感測與致動部份的厚度的不同 ,使得掃瞄懸臂樑受力時,根部的垂直位移量有末端的5%,用於數位訊號讀取上,應是可 以接受的。 |
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