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題名 | 微致動器研製技術 |
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作者姓名(中文) | 蔡登宏; 陳順林; 楊貴朱; | 書刊名 | 新新季刊 |
卷期 | 36:1 2008.01[民97.01] |
頁次 | 頁14-23 |
專輯 | 微系統技術及其應用 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微感測器; 微致動器; 微幫浦; 振動陀螺儀; 濺鍍; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 這個物理世界並非靜止不動,確切地說它是非常動態的,如果微感測器延伸了我們的視覺、聽覺、嗅覺與觸覺的功能,那麼微致動器必然是我們肢體的延伸。關於微致動器的可靠度與壽命,長久以來是個具有爭議的議題,但是經過近二十年的發展,特別在德州儀器公司開發出數位微面鏡元件(Digital Micromirror Device, DMD)後,各式型態的微致動器正蓬勃發展中,目前微機電領域已開發出多種不同驅動原理的致動器,本文將分別針對靜電式微致動器、電熱式微致動器、電磁式微致動器與壓電式微致動器的原理與案例作說明。 |
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