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來源資料
科儀新知
19:4=102 1998.02[民87.02]
頁4-17
電機工程
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匯出書目
題 名
微系統LIGA製程技術
作 者
楊啟榮
;
書刊名
科儀新知
卷 期
19:4=102 1998.02[民87.02]
頁 次
頁4-17
分類號
448.57
關鍵詞
LIGA製程
;
語 文
中文(Chinese)
中文摘要
LIGA技術起源於德國,可用以製造高精度、高深寬比的3D可動式微結構,目前已 實際應用於微致動器、微熱交換器、微幫浦、微感測器、微光學系統等元件的製作。本文將 針對微系統LIGA製程技術作通盤性的介紹,內容包括標準LIGA製程、犧牲層技術與類LIGA 製程的準分子雷射應用;鎳電鑄與鎳氣相沈積之全屬微結構成型技術;及熱印壓模與射出成型 之塑膠微模造成型技術。
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。
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