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來源資料
電子月刊
9:1=90 2003.01[民92.01]
頁122-132
電機工程
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電燈廠
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題名
金屬式表面微加工技術及其應用=
作者
鍾君煒
;
徐文祥
;
期刊
電子月刊
出版日期
200301
卷期
9:1=90 2003.01[民92.01]
頁次
頁122-132
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
微加工技術
;
微機電系統
;
LIGA製程
;
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