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來源資料
科儀新知
24:4=132 2003.02[民92.02]
頁25-33
電機工程
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電燈廠
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題名
面型微加工技術製作之電熱式致動器=Study on Surface Micromachined Electrothermal Actuators
作者
賴彥志
;
林佑昇
;
吳嘉昱
;
李正國
;
書刊名
科儀新知
卷期
24:4=132 2003.02[民92.02]
頁次
頁25-33
專輯
微致動器與微感測器專題
分類號
448.57
關鍵詞
面型微加工技術
;
電熱式致動器
;
微機電系統
;
Micro-electro-mechanical-system
;
MEMS
;
語文
中文(Chinese)
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