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來源資料
科儀新知
18:3=95 1996.12[民85.12]
頁68-82
電機工程
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電燈廠
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題 名
微機械製造結構於薄膜殘餘應力量測之應用
作 者
方維倫
;
書刊名
科儀新知
卷 期
18:3=95 1996.12[民85.12]
頁 次
頁68-82
專 輯
微機電系統專題
分類號
448.57
關鍵詞
微機械製造
;
薄膜
;
殘餘應力
;
量測
;
語 文
中文(Chinese)
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