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來源資料
電子月刊
7:3=68 2001.03[民90.03]
頁162-167
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題名
汞探針量測系統及其在介電薄膜特性分析上之應用簡介
作者
許倬綸
;
賴明志
;
劉柏村
;
劉繼文
;
戴寶通
;
書刊名
電子月刊
卷期
7:3=68 2001.03[民90.03]
頁次
頁162-167
專輯
半導體製程設備專輯
分類號
448.552
關鍵詞
汞探針量測系統
;
介電薄膜
;
語文
中文(Chinese)
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